1、热电偶测温法：
（1）将热电偶直接插入零件的封闭内孔中测温，也可直接接在零件上，这样测温较准确，但炉内热电偶须同炉体绝缘，有间隙保护和橡胶密封。热电偶丝用瓷管保护，保证热电偶不起辉。可以把热电偶丝弯曲成弹簧伏同零件紧密接触，但热电偶测温端与零件之间用一二片母片隔开。
（2）将热电偶插入模拟试样封闭内孔中测温，装炉时，模拟试样与零件处在相同或对称的位置上。
（3）将热电偶插入测温头上，测温头与将热电偶插入测温头上，测温头与零件表面压紧接触进行测温。凡在炉内测温的热偶引接的二次仪表应悬空或经隔离变换。测温头测温装置示意图如图所示：热电偶热端到某一起辉表面的距离应小于2mm，热电偶插入孔内的深度应大于30mm，此时，热电偶的测量值就规定为起辉表面温度。各种测量方法和仪表的标定要求见JB/T6956—1993《离子渗氮》附录A温度测定方法。
（4）瞬间停辉测温法：使铠装热电偶端头直接与工件表面接触，瞬间停辉测温，此法准确可靠，操作简单，缺点是不能连续测量。
（5）玻璃水银温度计测量温法：将玻璃水银温度计从炉壁特制孔中插入，直接接触测温，该法测温准确，仪表灵敏，但测量观察的玻璃应选用石英玻璃。
2、非接触测温法：用红外光电温度计和双波段比色温度计测量，常用WDL—31光电温度计与XWZK自动平衡记录仪配套使用，反应时间小于1s 3、目测法：目测不准确，仅作参考值。工件表面微红约为520℃，暗红时约为550℃。
